行业资讯 - 新闻中心 - 中国国际先进陶瓷展览会-新之联伊丽斯展览

陶瓷真空吸盘是由多孔陶瓷材料制作，孔径分布均匀，内部相互贯通，表面经研磨后，光滑细腻，平整性好，广泛应用于硅、蓝宝石、砷化镓等半导体晶圆的制造环节。

在半导体制造的前道工序（FEOL）中，要对晶圆进行各种工艺处理，特别是要将晶圆加热到一定温度，并且有着严格的要求，因为温度的均匀性对产品良率有着非常重要的影响；同时半导体设备还要在真空、等离子体和化学气体存在的环境下工作，这就要用到陶瓷加热器（Ceramic Heater）。

作为第三代半导体材料的核心成员，氮化铝（AlN）凭借其独特的物理特性形成多维技术标签：√深紫外光电子√耐高压功率器件√热管理专家√电力电子革新者√微波射频新标杆

新型陶瓷材料是指采用人工合成的高纯度无机化合物为原料，在严格控制的条件下经成型、烧结和其他处理而制成具有微细结晶组织的无机材料，这类陶瓷又称为特种陶瓷或精细陶瓷。