行业资讯 - 新闻中心 - 中国国际先进陶瓷展览会-新之联伊丽斯展览

卡盘是一种常见的夹紧装置，主要用于固定工件以便进行加工、测量、装配等操作。卡盘可以根据其工作原理、结构形式、夹紧方式等方面的不同，分为多种类型，常见的卡盘类型包括：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘。

半导体设备作为半导体产业链的关键支撑，其技术的实施依赖于各种精密零件。精密零部件的材料与加工技术是集成电路核心技术的载体，是半导体产业的基石。

硅基陶瓷主要类型与特性半导体制造中常用的硅基陶瓷主要是氮化硅（Si₃N₄）和碳化硅（SiC）。它们虽然都耐高温、抗腐蚀，但侧重点不同：

精密陶瓷部件主要是指应用在半导体设备中的高精密复杂结构陶瓷部件。精密陶瓷部件是半导体设备的关键部件，其研发生产直接影响半导体产业发展。近几年，随着国家政策的调整，半导体行业迅速发展，产业规模急速增大，半导体制造设备持续向精密化、复杂化演变，高精密陶瓷关键部件的技术要求也越来越高。