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半导体陶瓷部件的主要生产工艺介绍
制备芯片需要用到半导体设备,如刻蚀机、光刻机、离子注入机等,打开半导体设备,里面运用了大量的陶瓷零部件,陶瓷零部件具有耐高温、耐腐蚀、精度高、强度高等优异性能,其可以很好地用在半导体设备内。
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高端MLCC陶瓷粉体 · 制备难点 · 国产替代展望
高端MLCC的生产制造具有非常高的壁垒,调浆、成型、堆叠、均压、烧结、电镀等众多环节,无一不对厂商在陶瓷粉体、成型烧结工艺、专用设备的积累,有着极高的要求。各大厂商均具有一般性的MLCC产能,但高阶MLCC产能因为技术要求更高,目前集中在日厂手中。
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反应烧结制备碳化硅陶瓷及其性能研究
碳化硅是 C—Si 共价键相结合的一种化合物,具有良好的耐磨性和抗热震性,以及耐腐蚀性强,热导率高等优良性能,被广泛用于航空航天、机械制造、石油化工、金属冶炼以及电子行业,特别用于制作耐磨损部件和高温结构部件。
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如何烧结出致密的氧化铝陶瓷
氧化铝陶瓷具有高绝缘性、高隔热性、耐腐蚀、硬度高等优点,可广泛用于制造坩埚、发动机火花塞、高温耐火材料、热电偶套管、绝缘基片、密封环、刀具模具等。
最具发展潜力的十大先进陶瓷材料:一张表看清四档梯度
榜单的分歧不在数据,在尺子:卖得最多的氧化铝排第一,做不出来却很热的 CMC 排第十——都不算错,只是回答的不是同一个问题。
这篇用三条尺子:增量从哪来——新增需求还是抢存量;卡点松没松——粉体、烧结、加工、认证,哪环真在动;验证要多久——半导体件普遍 2~3 年,超了先打折。
不是新材料,是需求曲线被换掉了。门槛被官方目录写死——陶瓷件 ≥180、高导热基板 ≥200 W/(m·K)。真正的难点是粉体氧含量:氧进晶格形成铝空位、散射声子,标称 200 实测常掉到 150 以下。
另一个逻辑:基板导热 ≥85 W/(m·K)、抗弯 ≥700 MPa,轴承球抗弯 ≥900 MPa、断裂韧性 6~7 MPa·m1/2、压碎载荷比 ≥40%。两块增量一起吃:SiC 车规模块要 AMB 基板,电驱要陶瓷球。
含氟等离子体会把 Al₂O₃ 变成挥发性 AlF₃ 污染晶圆;Y₂O₃ 反应生成的 YF₃ 则是一层致密保护膜,挡住了腐蚀。刻蚀速率约为氧化铝的 1/5,代价是先进制程环节国产化率不足 10%。
"粉体决定一切"最典型的一个。介质层压到 1 μm 以下,粉体粒径就得从 200~300 nm 缩到 80~150 nm,且分布极窄——晶粒比层厚还大,薄层里排不下。日系量产 80~100 nm,国产主流 120~150 nm;层数已到 1600 对 800~1200。差距不在配方,在一炉粉的一致性。
体量最大,也最不"性感"。机会藏在纯度分档:96 瓷拼成本,99.6 以上拼钠、硅杂质与批次稳定,半导体件、耐磨件、透明陶瓷都要往这档走。
凡是高腐蚀、高热负荷、还要抗热震的地方,最后都会找到它。三条不相干的线,共用同一套粉体与烧结能力。
走替代路线。2 mm 厚在 0.2~6 μm 波段透过率 80% 以上,硬度约为蓝宝石的 85%,好处是尺寸更大、形状更复杂、成本更低。难在两头:碳热还原氮化拿高纯超细单相粉,再加极高温长时间烧结,缺一环就雾。
唯一被法规推着走的。d33 超 600 pC/N、20~120℃ 内变化率小于 10%、批次差异小于 5%——三项同时做到才算摸到门。机会不在性能超越,在"客户不得不换"。
最"消费"的一个。3Y-TZP 抗弯 900~1500 MPa、断裂韧性 3.5~4.5 MPa·m1/2,撑起全瓷冠与长桥;氧化钇加到 5Y,透光上去、强度下来,前牙美学与后牙承力因此分成两套配方。不爆发,但每年都在长。
密度只有镍基高温合金三分之一,耐温更高,是航发换代级选项。但说实话:静子件(罩环、燃烧室衬套)已量产,转动叶片尚未商用。排最后不是不重要,是节奏由发动机验证周期决定。
所谓潜力,不是这种材料能做多好,
而是它离"每次都一样"还有多远。
为聚焦行业痛点与技术突破、打通产学研用落地壁垒,我们将于11月19日在苏州中惠铂尔曼酒店重磅举办“第七届陶瓷基板及产业链发展论坛”暨“前沿领域先进陶瓷应用新趋势论坛”,本次论坛将重点围绕先进陶瓷的技术迭代、国产化工艺优化、极端工况应用难题、产业化落地路径等核心话题展开深度研讨,汇聚行业专家、科研团队与龙头企业,共探产业创新方向与市场机遇。
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