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图 陶瓷吸盘应用示意图,来源:RPS
一、什么是陶瓷真空吸盘
1、陶瓷真空吸盘的工作原理
多孔陶瓷真空吸盘(Porous Ceramic Vacuum Chuck),是利用真空吸附原理固定工件的承载平台,真空吸盘传递真空的部分为多孔陶瓷板,多孔陶瓷板装配在底座的沉孔中,其周边与底座粘结密封,底座为精密陶瓷或金属材料加工而成。藉由金属或陶瓷底座以及特殊多孔质的陶瓷结合,内部精密气道的设计,给予负压时,可以将工件平滑稳固地吸附于真空吸盘上。

2、陶瓷真空吸盘的特点

3、陶瓷真空吸盘VS传统金属吸盘


二、陶瓷真空吸盘在半导体领域的应用

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