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聚焦静电卡盘:华卓精科见证中国半导体陶瓷产业的关键一跃

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静电卡盘市场主要由PVD设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建,中国半导体设备销售额占全球比例快速上升,中国大陆首次成为半导体设备全球第一大市场,进而推动静电卡盘市场的快速增长。截止2025年,我国静电卡盘行业市场规模达到58.38亿元

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数据来源:观研天下数据中心整理

静电卡盘(Electrostatic Chuck, ESC)是半导体制造设备中的核心功能部件,本质上是一种通过高压电场在卡盘表面与晶圆之间形成静电吸附力、实现晶圆无机械接触夹持与稳定承载的精密部件。

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图源华卓精科

华卓精科(北京华卓精科科技股份有限公司)成立于2012年,总部位于中国北京,是一家专注于超精密测控技术的半导体设备研发生产商。公司依托清华大学机械工程系的技术积累,主要从事超精密测控设备部件、整机的研发、生产及销售,并提供相关技术开发服务。华卓精科在半导体装备核心领域取得了多项技术突破。公司是国内首家实现光刻机双工件台商业化的厂商,打破了国外技术垄断;其激光退火设备和晶圆级键合设备也已实现规模化应用,广泛应用于集成电路制造、先进封装及功率器件领域。2026年2月,华卓精科重启A股IPO辅导,旨在进一步提升核心技术的产业化能力。

6月11日第五届先进陶瓷在半导体领域应用发展论坛将在苏州中惠铂尔曼酒店隆重举行。本次论坛汇聚了国内外先进陶瓷与半导体领域的顶尖专家、学者和企业领袖,共同探讨产业发展趋势、技术创新方向和国产化突破路径。我们非常荣幸地邀请到北京华卓精科科技股份有限公司静电卡盘事业部杨鹏远总经理作为重磅演讲嘉宾出席本次论坛,他将以《半导体装备用陶瓷静电卡盘关键技术与应用》为题,与大家一同探讨下一代工艺制程静电卡盘面临的设计&制造技术难题以及解决思路。